B.主要技術(shù)指標(biāo):
1.測(cè)量原理:觸針?lè)?,差?dòng)電感傳感器 2.測(cè)量范圍:觸針最大位移:±50μm;Rt≤80μm;Ra:0.05μm -8μm 3.示值精度:≤±10% 4.最小分辨力:0.005μm 5.取樣長(zhǎng)度:0.25,0.8,2.5mm 6.評(píng)定長(zhǎng)度:N倍取樣長(zhǎng)度 N=1,2,3,4,5 7.數(shù)字濾波器:高斯濾波器、RC濾波器、PC濾波器 8.量程:±10,±25,±50μm 9.測(cè)量參數(shù):Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr (符合GB/T 3505-2000定義) 10.打印垂直放大比:≤20000倍 11.打印水平放大比:10/40/100倍 12.驅(qū)動(dòng)箱滑行速度:0.15,0.5,1mm/s 13.傳感器測(cè)針:金剛石圓錐,錐角90°,針尖半徑5μm 14.工作溫度:5℃-40℃ 15.電源:內(nèi)置鋰聚合物可充電電池組(5500mAh),外接專用充電器 16.齒面?zhèn)鞲衅骺蓽y(cè)量齒輪最小模數(shù):2mm |