B.主要技術指標：
1、測量原理： 觸針法、電感傳感器
2、測量范圍：垂直20mm，水平100mm
3、測量精度：垂直0.3%，水平0.03%
4、垂直分辨力：0.25μm/4mm,1.25μm/20mm
5、水平分辨力：1μm
6、測量參數：垂直距離，水平距離，兩直線夾角，圓弧半徑，倒角寬度，圓心-端面、圓心-圓心、直線交點-直線交點、點-直線距離
7、水平放大倍率：2，5，10，20，50，100，200，500
8、垂直放大倍率：10，20，50，100，200，500，1000，2000
9、驅動速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s
10、返回速度：1.5mm/s
11、基準導軌的直線性：1μm/任意40mm
12、立柱結構：滾動絲杠升降系統，快慢速機動升降，自動對準零點
13、立柱垂直測量高度：240mm
14、工作底臺：400×600mm大理石平臺
15、傳感器測桿長：150mm
16、測針長度：22mm
17、針尖角度：11°
18、針尖半徑：25μm
19、測力：0.02-0.06N
20、傳感器滑行角度：上升角≤77 °，下降角≤88° |
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